Tagħmir ewlieni tal-Linja ta 'Produzzjoni Awtomatizzata tat-Tindif tal-PR għall-Manifatturi tal-Display LCD
Il-linja ta 'produzzjoni awtomatizzata tat-tindif PR (photoresist) hija tagħmir tal-proċess imxarrab tal-qalba fil-manifattura tal-wiri LCD. Jintuża primarjament wara l-proċess tal-fotolitografija fuq is-sottostrat tal-firxa biex jitneħħew bir-reqqa fotoreżistenti residwi, residwu tal-inċiżjoni, u mikro-kontaminanti tal-wiċċ. Huwa tagħmir kruċjali biex tiġi żgurata l-preċiżjoni taċ-ċirkwit tal-pannelli u ttejjeb ir-rendiment tal-prodott. Adattat perfettament għall-ambjent ta' produzzjoni strett ta' kamra nadifa tal-Klassi 100, jikseb operazzjonijiet ta' tindif ta'-preċiżjoni għolja, awtomatizzati, u-ħieles mit-tniġġis-magħluq.
Timmira r-residwu fotoreżistiku pożittiv u negattiv wara l-proċess tal-fotolitografija, tutilizza tindif ultrasoniku f'diversi -stadji + proċess ta 'tlaħliħ ta' overflow ta 'ilma pur biex tneħħi fil-fond id-debris, kontaminanti organiċi, partiċelli tat-trab, u impuritajiet oħra li jibqgħu wara l-inċiżjoni fotolitografika. Jista 'jneħħi sewwa r-residwi mikroskopiċi taħt 0.5μm, u jipprevjeni difetti bħal ċirkuwiti miftuħa tal-pannelli, spots qawwi, u spots Mura kkawżati minn impuritajiet. Flimkien ma 'sistema ta' filtrazzjoni ta 'preċiżjoni ta' 0.1μm għoli-, tevita kontaminazzjoni sekondarja. Jikseb tneħħija bir-reqqa u mingħajr ħsara-, u jevita l-impatt ta 'saffi adeżivi residwi fuq proċessi ta' inċiżjoni u kisi sussegwenti, b'rata ta 'kopertura ta' tneħħija ta '100%.
Il-mibni-modulu ta 'kontroll elettrostatiku ESD jikkontrolla b'mod strett il-valur elettrostatiku fil-medda ta' Inqas minn jew ugwali għal ± 100V. Flimkien mal-kavità kontra l--materjal statiku u t-teknoloġija tal-kunsinna tar-rota manjetika mingħajr-kuntatt, tevita skariku elettrostatiku milli jagħmel ħsara liċ-ċirkwiti ta 'preċiżjoni tal-pannell, filwaqt li jipprevjeni wkoll grif, tixlif, u ġenerazzjoni ta' trab mill-frizzjoni fuq is-sottostrat tal-ħġieġ, u b'hekk timmassimizza l-protezzjoni tal-integrità tas-sottostrat.
Kamra tat-test tat-temperatura kostanti ta 'temperatura għolja u baxxa
Il-qalba tat-tagħmir tal-linja tal-produzzjoni tat-tindif u t-tnixxif awtomatizzat għall-manifatturi tal-iskrin LCD tintegra modalità ta 'tnixxif doppju: qtugħ ta' sikkina tal-arja u tnixxif tal-arja sħuna b'temperatura kostanti-. Dan malajr ineħħi t-tbajja' ta' l-ilma mill-wiċċ tas-sottostrat, u jikseb watermark-ħieles u traċċa-tnixxif. Wara t-tnixxif, il-kontenut ta 'umdità tal-wiċċ tas-sottostrat joqrob lejn iż-żero, li jippermetti trasferiment dirett għall-proċess li jmiss mingħajr ipproċessar sekondarju, u jiżgura l-kontinwità tal-proċess. Sistema ta 'kontroll PLC tippermetti operazzjoni kompletament awtomatizzata -loop ta' tagħbija, pożizzjonar, tindif, u ħatt. Jappoġġja funzjonijiet ta' monitoraġġ u allarm f'ħin reali-għall-aġġustament tal-konċentrazzjoni tas-soluzzjoni tat-tindif, it-temperatura, l-umdità u l-indafa. Il-kamra ssiġillata u d-disinn tal-pressjoni negattiva tal-gradjent jipprevjenu t-tnixxija tal-gass kimiku. Magħquda mal-ambjent ta' pressjoni pożittiva ta' kamra nadifa tal-Klassi 100, tippermetti wkoll ir-riċiklaġġ tal-ilma ultrapur u l-klassifikazzjoni u l-irkupru tal-likwidu tal-iskart, li tissodisfa kemm ir-rekwiżiti tal-iffrankar tal-enerġija kif ukoll tal-protezzjoni ambjentali.
Meta mqabbel mat-tindif manwali tradizzjonali, il-linji ta 'produzzjoni tat-tindif tal-PR kompletament awtomatizzati għandhom vantaġġi insostitwibbli: l-effiċjenza tat-tindif tiżdied b'aktar minn 3 darbiet, u kważi 10,000 substrat tal-ħġieġ jistgħu jiġu pproċessati għal kull shift, li jqassar b'mod sinifikanti ċ-ċiklu tal-proċess; il-konsistenza tat-tindif hija eċċellenti, tneħħi bir-reqqa mikro-residwi iżgħar minn 0.5μm, tikkontrolla r-rata ta 'difett tal-pannell sa 0.5PPM, tevita b'mod effettiv difetti bħal spots bright, spots skuri, u circuit breaks fuq l-iskrin; it-tagħmir jadotta disinn tal-iffrankar tal-ilma-u l-iffrankar tal-enerġija-, b'rata għolja ta 'rkupru ta' ilma pur u ġbir u trattament klassifikat tad-drenaġġ, li jissodisfa r-rekwiżiti tal-produzzjoni tal-protezzjoni ambjentali; il-magna kollha hija magħmula minn PVC reżistenti għall-korrużjoni-istainless steel SUS304, b'siġillar qawwi, tindif u manutenzjoni faċli, u hija adattata għal 24-siegħa tħaddim kontinwu f'kmamar nodfa, u ssir tagħmir standard għall-manifatturi tal-iskrin LCD biex jibnu linji ta 'prodotti high-end u jtejbu l-kompetittività tal-qalba.
Tagħmir ewlieni fil-Workshop tal-Fotolitografija tal-Manifatturi tal-Display LCD
It-tagħmir ta 'espożizzjoni huwa t-tagħmir ewlieni fil-workshop tal-fotolitografija u żona ta' proċess ewlieni fil-proċess tal-manifattura tal-firxa LCD. Magħruf ukoll bħala magna tal-litografija tal-pannelli, huwa apparat ta' proċess imxarrab ottiku ta'-preċiżjoni għolja. Il-funzjoni ewlenija tagħha hija li tittrasferixxi l-mudell tad-disinn taċ-ċirkwit tas-sottostrat fuq sottostrat tal-ħġieġ miksi b'fotoreżist permezz ta 'espożizzjoni ottika, li hija kruċjali għall-formazzjoni ta' mikro-ċirkwiti fil-pannell. It-trasferiment preċiż tal-mudell taċ-ċirkwit mill-fotomask għas-sottostrat tal-ħġieġ huwa l-prerekwiżit għal proċessi sussegwenti ta 'inċiżjoni, kisi u tindif PR, li jiddetermina direttament il-kwalità tal-iskrin tal-wiri. It-tagħmir juża proċess ta' espożizzjoni mingħajr -kuntatt, adattat għal substrati tal-ħġieġ LCD irqiq ta' daqs-kbir, li jevita grif, ħsara, u kontaminazzjoni tas-sottostrat.
Il-punti ewlenin teknoloġiċi ewlenin jinkludu sistema ta' allinjament ta'-preċiżjoni għolja b'preċiżjoni ta' sovrapposizzjoni ta' livell{-mikron-jew saħansitra sub-mikron-, li tiżgura allinjament żero f'stivar ta' ċirkwiti b'ħafna-saffi bi żbalji kkontrollati sa ftit eluf ta' dijametru ta' xagħar; l-użu ta 'sors ta' dawl ta 'espożizzjoni uniformi u teknoloġija ta' fokus dinamiku biex jinkisbu varjazzjonijiet ta 'enerġija ta' espożizzjoni ta '<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
Il-workshop kollu juża sors ta 'dawl isfar monokromatiku ta' 589nm, li jiffiltra kompletament id-dawl ta 'wavelength qasir -bħad-dawl ultravjola, blu u abjad, u jipprevjeni li dawn ir-raġġi milli jqanqlu qabel iż-żmien reazzjonijiet fotokimiċi fil-photoresist, li jikkawżaw difetti fatali bħal allinjament ħażin tal-mudell, linji mhux kompluti, ċirkuwiti qosra, u ċirkwiti miftuħa. Is-sistema tad-dawl tuża kombinazzjoni ta 'LEDs isfar iddedikati u filtri ta' saff doppju-biex tevita t-tnixxija tad-dawl mitluf; bibien, twieqi u twieqi ta' osservazzjoni huma mgħammra b'materjali ta' filtru kontra l--ultravjola; mowbajls, kameras, flashlights b'qawwa għolja-u sorsi ta 'dawl esterni oħra huma strettament ipprojbiti ġewwa l-workshop, u kontroll tad-dixxiplina tad-dawl taż-żona sħiħa- huwa implimentat biex jelimina r-riskju ta' espożizzjoni prematura ta 'photoresist mis-sors.
Introduzzjoni għall-Klassi 100 Cleanrooms għall-manifatturi tal-wiri LCD
Fil-qasam tal-manifattura tal-LCD ta'-preċiżjoni għolja, il-kmamar nodfa tal-Klassi 100 (kmamar nodfa tal-Klassi ISO 5) huma l-faċilità tal-produzzjoni ewlenija u indikatur ewlieni tas-saħħa teknika tal-manifattur u r-rendiment tal-prodott. Jintużaw ħafna fl-istadji tal-proċess ċentrali bħall-firxa, l-assemblaġġ taċ-ċelluli u l-ippakkjar tal-moduli minn kumpaniji ewlenin tal-wiri bħal BOE, TCL CSOT, HKC u Tianma. Dawn il-kmamar nodfa għandhom standards stretti ta 'indafa, b'mhux aktar minn 100 partiċelli ta' trab sospiżi Akbar minn jew ugwali għal 0.5μm f'dijametru għal kull pied kubu ta 'arja (Inqas minn jew ugwali għal 3520 għal kull metru kubu). Dan il-livell ta 'indafa jaqbeż ħafna dak tal-kmamar tal-operazzjoni mediċi, li jservi bħala "barriera iebsa" biex jipprevjeni t-trab, l-elettriku statiku u l-kontaminanti kimiċi milli jinterferixxu mal-proċessi ta' preċiżjoni. Huwa komponent tal-ħardwer ewlieni li jiddetermina direttament il-kwalità tal-immaġni tal-iskrin, it-tul tal-ħajja, u r-rata ta 'rendiment.
Il-workshop huwa ddisinjat u mibni strettament skont l-istandards internazzjonali u domestiċi tal-ISO. Jadotta mod ta' fluss ta' arja unidirezzjonali vertikali, flimkien ma' sistema ta' filtrazzjoni ULPA ta' erba{-stadji (filtru ta' qabel-, filtru ta' effiċjenza medja-, filtru ta'-effiċjenza għolja, u filtru ta' effiċjenza-għoli-), li tikseb effiċjenza ta' filtrazzjoni ta' ħelsien istantanju istantanja999999. u jeliminaw żoni mejta tal-fluss tal-arja. Fl-istess ħin, jinkiseb kontroll ambjentali preċiż fid-dimensjonijiet kollha: temperatura kostanti ta '23±1 grad , umdità relattiva kkontrollata f'45%-55%, stat ta' pressjoni pożittiva miżmum fiż-żona nadifa, u differenza ta 'pressjoni Akbar minn jew ugwali għal 10Pa bejn iż-żoni li jmissu, li tevita kompletament l-infiltrazzjoni ta' trab estern; meta wieħed iqis is-suxxettibilità tal-pannelli tal-wiri għal ħsara elettrostatika, tintuża art anti-epossidika statika awto-invellata, u pjanċi tal-azzar bil-kulur tal-istainless steel 304 u cleanroom jintużaw għal ħitan u soqfa, b'kontroll strett tal-valuri tal-elettriku statiku matul il-proċess; kontroll addizzjonali huwa pprovdut għal inkwinanti kimiċi VOC ta' livell molekulari-u interferenza moħbija bħal mikro-vibrazzjonijiet, li jissodisfaw ir-rekwiżiti ta 'proċessi nanoskala bħal fotolitografija, depożizzjoni ta' film irqiq, u injezzjoni ta 'kristalli likwidi.
Il-workshop jadotta disinn ta 'zoni ta' cleanroom f'saffi, maqsum f'żona tal-qalba tal-Klassi 100, żona buffer tal-Klassi 1000, u żona awżiljarja tal-Klassi 10,000, b'saffi li jipprevjenu l-kontaminazzjoni inkroċjata, u l-persunal u l-linji tal-conveyor tal-materjal awtomatizzati huma kompletament separati. Il-persunal irid jgħaddi minn proċess triplu ta' tibdil ta' ħwejjeġ, doċċa ta' l-arja, u skoperta elettrostatika, u jista' jidħol biss wara li jilbes libsa sħiħa ta'-body cleanroom, ingwanti ħielsa mit-trab-, u gogils; materjali huma trasferiti permezz ta 'twieqi ta' trasferiment interlocked u jgħaddu minn trattament ta 'tneħħija tat-trab u l-elettriku statiku; l-intern huwa mgħammar b'kappa tal-fluss laminari FFU, counters tal-partiċelli onlajn, sensuri tat-temperatura u umdità, moniters tal-pressjoni differenzjali, u tagħmir ieħor biex jinkiseb monitoraġġ f'ħin reali ta '24-siegħa u traċċabilità tad-dejta, u immedjatament joħroġ twissijiet u jagħmel aġġustamenti f'każ ta' indikaturi anormali biex jiżguraw stabbiltà ambjentali kontinwa.
